MINI-X1-Y1-Z1系列

分類： 標準運動系統

產品特點

·採用自主研發線性馬達及交叉滾柱導軌，具備高動態性能
·高剛性，具備良好負載能力，長期運動無磨損飄移問題
·體積小巧緊湊，結構控制簡單，支援快速部署與調校
·抗干擾能力強，更適用於複雜應用情境
·高整定速度，更適合需要頻繁、快速、大範圍來回運動的耦合應用
·顯著的綜合成本優勢，為光收發模組廠商提供更具成本效益的解決方案

產品咨詢

MINI-X1-Y1-Z1系列六軸高精密運動台針對光纖耦合應用而設計，創新性地在 ART130 系列大行程運動台（ XYZ 軸行程可按客戶需求客製化）的基礎上，整合了三軸微型精密調整機構，提供「大範圍粗調 + 奈米級微調」一體化操作，各軸重複定位精度均可達到 ±100nm 以內。產品適用絕大多數光通訊模組的相關應用，具有精度高、穩定性高、成本效益高的量產整合優勢。

與以往壓電微型平台調整方案不同，MINI-X1-Y1-Z 使用自研線性馬達和交叉滾柱導軌，MINI 軸的微動行程可達 ± 1mm，運動整定時間可達 200 μm @ ± 50nm @ 30ms。超高的精度與小巧的體積，更為輕便的重量與更廣泛的行程，使其更適合需要頻繁、快速、大範圍來回運動的耦合應用情境。

參考閱讀：新品發佈｜六軸光耦合運動台為何成為光收發模組提效降本的關鍵一環

MINI XYZ 定位穩定性

MINI X 軸整定速度

MINI Y 軸整定速度

MNI Z 軸整定速度

軸名稱	X	Y	Z	MINI-X	MINI-Y	MINI-Z
行程	60mm	60mm	35mm	1mm	1mm	1mm
電子解析度	5nm
定位精度	±250nm	±250nm	±250nm	±200nm	±200nm	±200nm
重複定位精度	±100nm	±100nm	±100nm	±100nm	±100nm	±100nm
直線度	±1.5μm	±1.5μm	±2μm	N/A	N/A	N/A
平面度	±1.5μm	±1.5μm	±2μm	N/A	N/A	N/A
Pitch	10arcsec	10arcsec	10arcsec	N/A	N/A	N/A
Yaw	10arcsec	10arcsec	10arcsec	N/A	N/A	N/A
最小步進	50nm
定位穩定性	±50nm	±50nm	±50nm	±50nm	±50nm	±50nm
運動整定時間	/			200μm @±50nm@30ms	200μm @±50nm@30ms	200μm @±50nm@30ms
mini軸負載重量	500g
最大速度	500mm/s	500mm/s	500mm/s	50mm/s	50mm/s	50mm/s
平台重量	11kg
平台材質	鋁
平均無故障時間	27,000 Hours

備註：
(1) 搭配 -AS 回饋與線性放大器;
(2) 空載，需配置相應功率的放大器；
(3) 預設測試點位置為檯面上方 25mm；
(4) 其餘行程可客製。

MINI軸參數

軸名稱	MINI-X	MINI-Y	MINI-Z
行程	1mm	1mm	1mm
電子解析度	5nm
定位精度	±200nm	±200nm	±200nm
重複定位精度	±100nm	±100nm	±100nm
最小步進	50nm
定位穩定性	±50nm	±50nm	±50nm
運動整定時間	200μm@±50nm@30ms	200μm@±50nm@30ms	200μm@±50nm@30ms
負載重量	500g
最大速度	20mm/s	20mm/s	20mm/s
持續推力	8.4N
峰值推力	66.5N
平台重量	1.3kg
平台材質	鋁
平均無故障時間	27,000 Hours