
🆕 即時調整高度與角度姿態,ZTT 系列煥新升級!
ZTT-V2採用自行研發的線性馬達驅動,在具備超高靜態穩定性的同時,還具備非常突出的動態性能,完美適應對微動和動態追隨誤差要求嚴格的晶圓檢測、光學對準、面板檢測或者無光罩微影等應用。
☑️【更高精度】 Z 向最小步進可達20 nm
☑️【更高剛性】結構優化,結構件剛性提升
☑️【薄型設計】結構緊湊,阿貝誤差小
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