ZTT-V2系列
分類： 標準運動系統 > 晶圓檢測設備運動平台
產品特點
·升降(Z)和平整（Tip-tilt）一體平台
·採用球形鉸鏈結構，多軸連動控制
·結構緊湊，薄型結構
·Z向最小步進20nm，Tip-tilt最小步進0.05 arc sec
·採用線性馬達驅動，具備較好的動態性能
·採用球形鉸鏈結構，多軸連動控制
·結構緊湊，薄型結構
·Z向最小步進20nm，Tip-tilt最小步進0.05 arc sec
·採用線性馬達驅動，具備較好的動態性能
ZTT-V2是垂直升降與水平調平三軸一體式精密定位平台，利用線性馬達驅動，採用精密球形鉸鏈耦合，具備非常優秀的微動精度與動態性能。整體高度小，尺寸精巧，剛性高，負載能力可達10kg，相容於無塵室環境使用。
ZTT-V2在具備點到點靜態定位精度的同時，還具備非常突出的動態精度，可以適應對微動和動態跟隨誤差要求嚴格的晶圓檢測、光學對準、面板檢測或者無光罩光刻等應用，根據傳感器聚焦高度實時調整高度和角度姿態，全方位解決客戶的運動控制難題。
ZTT-V2平台最小步進測試
Z向20nm步進
各軸定位穩定性
| 軸名稱 | Z | θx | θy |
| 有效行程\Travel | 5mm | 2° | 2° |
| 定位精度\Accuracy | ±0.3 μm | NA | NA |
| 重複定位精確度\Bi-Repeatability | ±0.1 μm | ±0.1 arcsec | ±0.1 arcsec |
| 最大速度\Maximum Speed（1） | 20 mm/s | NA | NA |
| 最大加速度\Maximum Acceleration（1） | 1 g | NA | NA |
| 最小步進量\Minimum Incremental step（2） | 20nm | 0.05 arcsec | 0.05 arcsec |
| 最大負載\Load Capacity | 10 kg | ||
| 平台重量\Stage Mass | 8 kg | ||
| 平台材質\Material | 鋁 | ||
| 平均故障時間\MTBF | 27,000 Hours | ||
備註：
(1) 空載，需配置對應功率的擴大機；
(2) 預設測試點位置為檯面上方25 mm。
備註：
（1）單位：mm；
（2）線纜接頭未顯示；
（3）完整3D圖面可官網下載。
產品配置選項
| 產品系列 | 檯面大小 | 回饋 |
| ZTT-V2 | -200 | -AS |
回饋選項
| -AS | VPP 1伏特正弦類比量輸入 |
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