SMH-V系列

分類： 升降平台

產品特點

．長行程低高度升降台
．較強的承載能力（最高負載超過60kg）
．靈活的配置選項（可選不同行程，可選斷電自鎖）
．精巧的機械設計，無需配重
．最小步進20nm，重複定位精度±200nm，定位精度±500nm
．定位穩定性20nm（配置線性驅動器，配備隔振實驗室環境）

產品咨詢

SMH-V系列是奈米級定位精度托舉運動Z向平台，包括SMH115V-010 、SMH165V-020、SMH190V-035和SMH225V-050等，對應行程分別是12mm、22mm、37mm和52mm。它是ART130XY和SMH-LM系列水平運動平台的有效補充， SMH-V系列升降台具有尺寸緊湊、橫向高度低、定位精度和重複性優良、最小步進精度量小、承載能力強和步進穩定時間短等優點。SMH-V系列升降台採用巧妙的機械設計，在保證精度和承載能力的同時，可以有效節省安裝空間。

SMH-V系列升降台雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力，最大負載可達60kg。配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，SMH-V系列平台的定位穩定性和最小步進量可以小於20nm，重複性優於±200nm。主要應用於半導體領域的晶圓缺陷檢測、光學透鏡檢測、生物醫療和精密加工等領域，可以根據客戶的應用，在不大幅增加平台高度的前提下提供制動器和斷電自鎖選項，也可以根據客戶需求客製更大行程和更強承載能力的高精密升降台。

平台型號\Model	SMH115V-010	SMH165V-020	SMH190V-035	SMH225V-050
有效行程\Travel	12mm	22mm	37 mm	52 mm
定位精度\Accuracy	±500 nm	±500 nm	±500 nm	±500 nm
重複定位精度\Bi-Repeatability	±200 nm	±200 nm	±200 nm	±200 nm
俯仰\Pitch	10 arc sec	10 arc sec	10 arc sec	13 arc sec
橫滾\Roll	10 arc sec	10 arc sec	10 arc sec	13 arc sec
偏擺\Yaw	10 arc sec	10 arc sec	10 arc sec	13 arc sec
直線度\Straightness1	±3.0 µm	±3.0 µm	±4 µm	±5.0 µm
平台重量\Stage Mass	1.7KG	6 kg	11 kg	18 kg
最大負載\Load Capacity2	15 KG	20 kg	40 kg	60 kg
解析度\Resolution3	10 nm
定位穩定性\In Position Stability 2	20nm
最小步進量\Minimum Incremental step3	20 nm
最大速度\Maximum Speed4	15 mm/s	15 mm/s	15 mm/s	15 mm/s
平台材質\Material	鋁
平均無故障時間\MTBF	27,000 Hours

平台型號\Model	SMH115V-025	SMH165V-070	SMH165V-095
有效行程\Travel	25 mm	70 mm	95 mm
絕對定位精度\Accuracy	±500 nm	±800 nm	±1000 nm
雙向重複定位精度\Bi-Repeatability	±200 nm	±400 nm	±500 nm
俯仰\Pitch	13 arc sec	15 arc sec	20 arc sec
橫滾\Roll	13 arc sec	15 arc sec	20 arc sec
直線度\Straightness1	±4 µm	±6 µm	±9 µm
平台重量\Stage Mass	2.6 kg	11 kg	13 kg
最大負載\Load Capacity2	15 kg	20 kg	20 kg
解析度\Resolution3	10 nm
定位穩定性\In Position Stability 2	20 nm
最小步進量\Minimum Incremental step3	20 nm
最大速度\Maximum Speed4	15 mm/s	15 mm/s	15 mm/s
平台材質\Material	鋁
平均無故障時間\MTBF	27,000 Hours