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RAB系列

分類: 旋轉平台 > 氣浮直驅旋轉平台

產品特點

‧ 最佳化設計,最大限度地減少軸向、徑向和傾斜誤差運動
‧ 具有出色的定位性能、速度穩定性和高解析度回饋
‧ 非接觸式空氣軸承,有助於超精確運動性能
‧ 最大轉速1500rpm 亞角秒級定位精度
‧ 小於250nm軸向和徑向跳動
‧ 可根據應用需求增加旋轉單元和氣管
產品咨詢

RAB是高精度的高精度氣浮直驅轉台,它利用直驅馬達直接驅動,具備非常優秀的動態性能和定位精度。除了市場領先的軸向、徑向和傾斜誤差運動性能外,RAB氣浮轉台還提供卓越的性能旋轉精度和可重複性,以及卓越的負載承載能力,很容易整合到您的多軸運動系統和機器中。

RAB採用傑出的工業化設計,轉動檯面尺寸150mm,也可以用戶需求客製不同尺寸的檯面。選用高精度環形光學尺位置回饋,定位精度小於1弧秒,軸向和徑向跳動小於250nm,機械性能非常突出。

RAB採樣地心科技自主研發的圓形直驅馬達,有較強的驅動能力和較大的扭力,空載轉速超過1500rpm。採用線性放大器,實驗室環境做好振動隔離的前提下,RAB轉台的定位穩定性和最小步進量小於0.5弧秒。主要應用在測量檢測,晶圓螺旋線檢測、生物樣片加工及觀測、同步加速研究、精密製造、光學對準和系統校準等需要角秒定位精度的工業領域與科研項目。

平台型號\Model

RAB100

RAB150

載物台直\ Stage Diameter

100 mm

150 mm

轉角精度\Accuracy

±1.5 arc  sec

±1.5 arc sec

重複性\ Repeatability 

±0.75 arc  sec

±0.75 arc sec

軸跳\Axial Error Motion

250 nm

250 nm

端跳\Radial Error Motion 

250 nm

250 nm

最小步進量\Minimum Incremental step1

0.5 arc sec

0.5 arc sec

在位穩定性\In Position Stability 1

0.5 arc sec

0.5 arc sec

持續扭矩\Maximum Torque

0.7 N.m

3 N.m

峰值扭矩\Maximum Torque 

3 N.m

10 N.m

平台重量\Stage Mass 

3 kg

8 kg

最大負載\Max Load  

軸向\Axial 

20 kg

40 kg

徑向\Radial 

5 kg

10 kg

最高轉速\ Maximum Speed

2000rpm

1500rpm

耗氣量\Air Consumption

15 SLPM

18 SLPM

供氣需求\ Aire Requirement

5.3bar±0.2bar,加小於0.25μm空氣濾清器

平台材質\Material

平均無故障時間\MTBF

27,000 Hours

備註:

(1)適配-AS回授,配置線性放大器;

(2)空載,需配置對應功率的擴大機;

(3)預設測試點位置為檯面上方25 mm,單軸指標,多軸系統的性能指標與實際載重及工作點位置有關;

(4)汽缸供氣需配置空濾三聯件,必須清潔、乾燥,過濾至0.25μm以下顆粒,建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓依平台實際負載重量可調。

(5)為了防止空氣軸承氣壓不足,建議安裝氣壓開關,訊號輸入到運動控制器連接急停(E-STOP)端口。

 

 

RAB100

 

RAB150

產品配置選項

產品系列

名稱

回饋

RAB

-100

-150

-AS
-TTL50

 

 

 

 

 

回饋選項

-AS

VPP 1伏正弦模擬量輸入

-TTL50

TTL 50倍細分