RAB系列
分類: 旋轉平台 > 氣浮直驅旋轉平台
產品特點
‧ 具有出色的定位性能、速度穩定性和高解析度回饋
‧ 非接觸式空氣軸承,有助於超精確運動性能
‧ 最大轉速1500rpm 亞角秒級定位精度
‧ 小於250nm軸向和徑向跳動
‧ 可根據應用需求增加旋轉單元和氣管
RAB是高精度的高精度氣浮直驅轉台,它利用直驅馬達直接驅動,具備非常優秀的動態性能和定位精度。除了市場領先的軸向、徑向和傾斜誤差運動性能外,RAB氣浮轉台還提供卓越的性能旋轉精度和可重複性,以及卓越的負載承載能力,很容易整合到您的多軸運動系統和機器中。
RAB採用傑出的工業化設計,轉動檯面尺寸150mm,也可以用戶需求客製不同尺寸的檯面。選用高精度環形光學尺位置回饋,定位精度小於1弧秒,軸向和徑向跳動小於250nm,機械性能非常突出。
RAB採樣地心科技自主研發的圓形直驅馬達,有較強的驅動能力和較大的扭力,空載轉速超過1500rpm。採用線性放大器,實驗室環境做好振動隔離的前提下,RAB轉台的定位穩定性和最小步進量小於0.5弧秒。主要應用在測量檢測,晶圓螺旋線檢測、生物樣片加工及觀測、同步加速研究、精密製造、光學對準和系統校準等需要角秒定位精度的工業領域與科研項目。
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平台型號\Model |
RAB100 |
RAB150 |
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載物台直徑\ Stage Diameter |
100 mm |
150 mm |
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轉角精度\Accuracy |
±1.5 arc sec |
±1.5 arc sec |
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重複性\ Repeatability |
±0.75 arc sec |
±0.75 arc sec |
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軸跳\Axial Error Motion |
250 nm |
250 nm |
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端跳\Radial Error Motion |
250 nm |
250 nm |
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最小步進量\Minimum Incremental step1 |
0.5 arc sec |
0.5 arc sec |
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在位穩定性\In Position Stability 1 |
0.5 arc sec |
0.5 arc sec |
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持續扭矩\Maximum Torque |
0.7 N.m |
3 N.m |
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峰值扭矩\Maximum Torque |
3 N.m |
10 N.m |
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平台重量\Stage Mass |
3 kg |
8 kg |
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最大負載\Max Load |
軸向\Axial |
20 kg |
40 kg |
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徑向\Radial |
5 kg |
10 kg |
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最高轉速\ Maximum Speed |
2000rpm |
1500rpm |
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耗氣量\Air Consumption |
15 SLPM |
18 SLPM |
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供氣需求\ Aire Requirement |
5.3bar±0.2bar,加小於0.25μm空氣濾清器 |
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平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註:
(1)適配-AS回授,配置線性放大器;
(2)空載,需配置對應功率的擴大機;
(3)預設測試點位置為檯面上方25 mm,單軸指標,多軸系統的性能指標與實際載重及工作點位置有關;
(4)汽缸供氣需配置空濾三聯件,必須清潔、乾燥,過濾至0.25μm以下顆粒,建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓依平台實際負載重量可調。
(5)為了防止空氣軸承氣壓不足,建議安裝氣壓開關,訊號輸入到運動控制器連接急停(E-STOP)端口。
RAB100

RAB150

產品配置選項
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產品系列 |
名稱 |
回饋 |
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RAB |
-100 -150 |
-AS |
回饋選項
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL50 |
TTL 50倍細分 |