ART130XY系列
分類： 線性位移平台 > 機械直驅線性平台
產品特點
．高動態性能（截止頻率大於100Hz）
．交叉滾柱軸承
．靈活的配置選項（XY可客製不等距行程）
．結構緊湊，XY一體式設計
．解析度1nm，重複定位精度±100nm，定位精度±250nm
．定位穩定性3nm（配置線性驅動器，配備隔振實驗室環境）
ART130XY系列是奈米級定位精度的XY一體式運動平台，線性馬達驅動，採用交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率可達100Hz以上。它採用XY一體式設計，具有薄型結構、阿貝誤差小的特點，XY行程可以根據客戶需求客製，可作為二維運動平台單獨使用，也可以與ART130LZ、ART130-5V升降台或者RSML系列轉台搭配使用，組成不同的多軸配置來滿足客戶應用。
ART130XY系列平台雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力，最大速度可達500mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，ART130XY系列平台的定位穩定性3nm和最小步進量可以小於5nm，主要應用於通訊領域的光纖耦合、半導體領域的晶圓缺陷檢測、生物醫療領域的基因定序以及雷射微奈加工等，可以根據客戶的應用提供靈活的客製方案。
精巧的結構設計保證了ART130XY系列平台出色的精度和動態性能，特別是在速度穩定性要求嚴苛的應用中，它的優異性能得到了很好的體現，例如在掃描檢測應用中，要求直線軸等速20mm/s，運動距離130mm，ART130XY系列平台等速段動態跟隨誤差<±100nm，能出色的完成專案任務。
ART130XY系列平台最小步進和定位穩定性測試
5nm最小步進（ASH回饋選項，配置線性放大器）
<3nm定位穩定性（ASH回饋選項，配置線性放大器）
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平台型號\Model |
ART130XY-060-060 |
ART130XY-110-110 |
ART130XY-160-160 |
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有效行程\Travel |
60mm*60mm |
110mm*110mm |
160mm*160mm |
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絕對定位精度\Accuracy |
±250nm |
±300nm |
±300nm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±100nm |
±100nm |
±100nm |
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單向重複定位精度\Uni-Repeatability |
±45nm |
±45nm |
±45nm |
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俯仰\Pitch |
10arc sec |
12arc sec |
18arc sec |
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偏擺\Yaw |
10arc sec |
12arc sec |
18arc sec |
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正交性\Orthogonality |
10arc sec |
10arc sec |
10arc sec |
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|
直線度\Straightness |
±1.5 µm |
±2µm |
±2.5µm |
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|
平面度\Flatness |
±1.5 µm |
±2µm |
±2.5µm |
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移動部分重量\Moving Mass |
上軸\Upper |
1.7kg |
2.3kg |
2.6kg |
|
下軸\Lower |
4.4kg |
5.9kg |
7.1kg |
|
|
平台重量\Stage Mass |
6.1 kg |
7.9kg |
9.4kg |
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最大負載\Load Capacity |
12.0kg |
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解析度\Resolution |
1nm |
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最小步進量\Minimum Incremental step1 |
5 nm |
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定位穩定性\In Position Stability 1 |
3 nm |
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最大速度\Maximum Speed2 |
500mm/s |
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最大加速度\Maximum Acceleration2 |
1g |
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持續推力\Continuous Force |
24.4 N |
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|
峰值推力\Peak Force |
170.4 N |
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|
平台材質\Material |
鋁 |
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|
平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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平台型號\Model |
ART130XY-110-060 |
ART130XY-160-060 |
ART130XY-160-110 |
ART130XY-200-070 |
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有效行程\Travel |
110mm*60mm |
160mm*60mm |
160mm*110mm |
200mm*70mm |
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定位精度\Accuracy |
上軸\Upper Axis |
±250nm |
±250nm |
±300nm |
±250nm |
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下軸\Lower Axis |
±300nm |
±300nm |
±300nm |
±300nm |
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重複定位精度\Bi-Repeatability |
±100nm |
±100nm |
±100nm |
±100nm |
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重複定位精度\Uni-Repeatability |
±45nm |
±45nm |
±45nm |
±45nm |
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俯仰\Pitch |
10arc sec |
12arc sec |
14arc sec |
18arc sec |
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橫滾\Roll |
10arc sec |
12arc sec |
14arc sec |
18arc sec |
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偏擺\Yaw |
10arc sec |
12arc sec |
14arc sec |
18arc sec |
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|
正交性\Orthogonality |
10arc sec |
10arc sec |
10arc sec |
10arc sec | ||
|
直線度\Straightness |
±1.5 µm |
±2µm |
±2.5µm |
±2.5µm |
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|
平面度\Flatness |
±1.5 µm |
±2µm |
±2.5µm |
±2.5µm |
||
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移動部分重量\Moving Mass |
上軸\Upper |
1.7kg |
1.7kg |
2.3kg |
1.8kg |
|
|
下軸\Lower |
4.4kg |
4.4kg |
5.9kg |
4.5kg |
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|
平台重量\Stage Mass |
7.1 kg |
7.8kg |
8.7kg |
9.4kg |
||
|
最大負載\Load Capacity |
10.0kg |
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解析度\Resolution |
1nm |
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最小步進量\Minimum Incremental step2 |
10 nm |
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定位穩定性\In Position Stability 2 |
±10 nm |
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最大速度\Maximum Speed3 |
350mm/s |
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最大加速度\Maximum Acceleration3 |
1g |
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|
持續推力\Continuous Force |
24.4 N |
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|
峰值推力\Peak Force |
170.4 N |
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|
平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
（1）經過客製化2D校準後，正交性可達 5 arc sec；
（2）適配-ASH回饋，線性放大器；
（3）空載，需配置對應功率的擴大機；
（4）預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載重及工作點位置有關；
（5）其他行程可客製化。
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型號 BASIC MODEL |
標稱行程 NOMINAL TRAVEL |
A1 |
A2 |
B |
|
ART130-060-060-XY |
60,60 |
180 |
180 |
150 |
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ART130-110-110-XY |
110,110 |
230 |
230 |
100,200 |
|
ART130-160-160-XY |
160,160 |
280 |
280 |
150,250 |
|
ART130-110-060-XY |
110,60 |
230 |
180 |
150 |
|
ART130-160-060-XY |
160,60 |
280 |
180 |
100,200 |
|
ART130-160-110-XY |
160,110 |
280 |
230 |
150,250 |
|
ART130-200-070-XY |
200,70 |
320 |
190 |
150,250 |
備註：
- 單位：mm；
- 電纜接頭未顯示；
- 非對稱XY行程圖紙未顯示。
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
行程（mm） |
回饋 |
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ART130XY |
-060-060 |
-AS -ASH -TTL005 -TTL020
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-110-110 |
||
|
-160-160 |
||
|
-110-060 |
||
|
-160-060 |
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|
-160-110 |
||
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-200-070 |
行程選項
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-060-060 |
60 mm X 60mm行程 |
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-110-110 |
110mmX110mm行程 |
|
-160-160 |
160mmX160mm行程 |
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-110-060 |
110mmX 60mm行程 |
|
-160-060 |
160mmX 60mm行程 |
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-160-110 |
160mmX110mm行程 |
|
-200-070 |
200mmX70mm行程 |
回饋選項
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
|
-ASH |
高精度VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL005 |
5nm解析度數位量TTL信號輸入 |
|
-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
|
-TTL020 |
20nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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