ART165系列
分類： 線性位移平台 > 機械直驅線性平台
產品特點
·奈米級的定位精度
·高動態性能（截止頻率大於100Hz）
·交叉滾柱導軌
·靈活的配置選項（不同行程和回饋）
·解析度1nm，重複定位精度±100nm，定位精度±250nm
·定位穩定性3nm（配置線性驅動器，配備隔振實驗室）
·高動態性能（截止頻率大於100Hz）
·交叉滾柱導軌
·靈活的配置選項（不同行程和回饋）
·解析度1nm，重複定位精度±100nm，定位精度±250nm
·定位穩定性3nm（配置線性驅動器，配備隔振實驗室）
ART165系列是奈米級定位精度的運動平台，採用自研線性馬達驅動，交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態性能與定位精度，空載截止頻率可達100Hz以上。行程可依客戶需求客製化，可作為單軸運動平台使用，也可與ART165V-5升降台或RSML系列轉台搭配使用，組成不同的多軸配置來滿足客戶應用。
ART165系列平台雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力，最大速度可達500mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，ART165系列平台的定位穩定性3nm和最小步進量可以小於5nm，主要應用於通訊領域的光纖耦合、半導體領域的晶圓缺陷檢測、生物醫療領域的基因測序以及雷射微奈加工等。可根據客戶的應用提供靈活的客製化方案。
精巧的結構設計保證了ART165系列平台出色的精度和動態性能，特別是在速度穩定性要求苛刻的應用中，它的優異性能得到了很好的體現，例如在掃描檢測應用中，要求直線軸勻速20mm/s，運動距離130mm，ART165系列平台勻速段動態誤差＜±100nm，跟隨 100nm，跟隨出色的項目。
ART165系列平台最小步進與定位穩定性測試
5nm最小步進（ASH回授選項，配置線性放大器）
<3nm定位穩定性（ASH回授選項，配置線性放大器）
| 平台型號\Model | ART165-110 | ART165-160 | ART165-210 | |
| 有效行程\Travel | 110 mm | 160 mm | 210 mm | |
| 絕對定位精度\Accuracy | ±300 nm | ±300 nm | ±300 nm | |
| 重複定位精度\Repeatability | ±100 nm | ±100 nm | ±150 nm | |
| 俯仰\Pitch | 10 arc sec | 12 arc sec | 12 arc sec | |
| 偏擺\Yaw | 10 arc sec | 12 arc sec | 12 arc sec | |
| 直線度\Straightness | ±1.0 µm | ±1.5 µm | ±1.5 µm | |
| 平面度\Flatness | ±1.0 µm | ±1.5 µm | ±1.5 µm | |
| 平台重量\Stage Mass | 4.7 kg | 5.7 kg | 6.7 kg | |
| 最大負載\Load Capacity | 水平\Horizontal | 15 kg | ||
| 側向\Side | 12 kg | |||
| 分辨率\Resolution（1） | 1 nm | |||
| 最小步進量\Minimum Incremental step（1） | 5 nm | |||
| 定位穩定性\In Position Stability （1） | 3 nm | |||
| 最大速度\Maximum Speed（2） | 500 mm/s | |||
| 最大加速度\Maximum Acceleration（2） | 1 g | |||
| 持續推力\Continuous Force | 41.2 N | |||
| 峰值推力\Peak Force | 243.7 N | |||
| 平台材質\Material | 鋁 | |||
| 平均故障時間\MTBF | 27,000 Hours | |||
備註：
（1）適配-ASH回饋，線性放大器；
（2）空載，需配置對應功率的擴大機；
（3）預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載重及工作點位置有關；
（4）其他行程可客製化。
| 型號 BASIC MODEL |
標稱行程 NOMINAL TRAVEL |
A | B |
| ART165-110 | 110 | 245 | 155,200 |
| ART165-160 | 160 | 295 | 155,250 |
| ART165-210 | 210 | 345 | 155,300 |
| 產品系列 | 行程（mm） | 回饋 |
| ART130 | -110 |
-AS -ASH -TTL005 -TTL010 -TTL020 |
| -160 | ||
| -210 |
產品配置選項
| -110 | 110 mm 行程 |
| -160 | 160 mm 行程 |
| -210 | 210 mm 行程 |
回饋選項
| -AS | VPP 1伏特正弦類比量輸入 |
| -ASH | 高精度VPP 1伏特正弦類比輸入 |
| -TTL005 | 5nm解析度數位量TTL訊號輸入 |
| -TTL010 | 10nm解析度數位量TTL訊號輸入 |
| -TTL020 | 20nm解析度數位量TTL訊號輸入 |
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