ACT85LM系列
分類: 線性位移平台 > 機械直驅線性平台
產品特點
‧ 高性能低成本解決方案
‧ 堅固的機械結構
‧ 靈活的配置選項(不同的行程與回饋)
‧ 行程範圍50mm到800mm
‧ 最大速度可達2000mm/s,最大加速度可達2g
‧ 可配置雙致動器,提高產能與效率
‧ 可選單側或雙側電纜管理
ACT85LM系列運動平台採用線性馬達驅動,直驅馬達速度快、動態性能好、摩擦力小,易於實現精密位置控制,非常適合大行程,高速度和高精度應用。
ACT85LM系列運動平台使用高解析度光柵,電子解析度可達1nm,通過校準可使平台最低達至亞微米級重複性和定位精度。而低摩擦側密封系統保護其免受灰塵或顆粒污染,保證其長時間正常運行,延長維護週期。 ACT85LM為客戶提供電纜管理系統選項、低摩擦側密封、金屬硬殼上蓋的設計讓平台在性能卓越的前提下更簡練而具美感,使日常維護簡單易行,省時省力。
ACT85LM系列高性能機械式直線導軌運動平台是精密機械中的關鍵部件之一,它主要應用於OLED切割、PCB鑽孔,數控加工、生物技術、IC封裝設備、表面形貌測量等領域。為客戶提供一個能夠實現精密定位,高速度和大負載的精密運動平台。
ACT85LM系列平臺最小步進和動態性能測試

100 nm最小步進(實驗室環境)
此圖型為150mmX75mm毫米的操場型圖形,其中4個拐角半徑大約4.5mm

1.2秒完成加工,動態跟隨誤差小於12μm
| 平台型號\Model | ACT85LM-050 | ACT85LM-100 | ACT85LM-150 | ACT85LM-200 | ACT85LM-300 | |
| 有效行程\Travel | 50mm | 100mm | 150mm | 200mm | 300mm | |
| 定位精度\Accuracy | ±0.5μm | ±1μm | ±1μm | ±1.5μm | ±2μm | |
| 重複定位精度\Bi-Repeatability | ±0.3μm | ±0.3μm | ±0.5μm | ±0.5μm | ±1μm | |
| 平台重量\Stage Mass | 4.3kg | 4.8kg | 5.2kg | 5.6kg | 6.6kg | |
| 最大負載\Load Capacity | 水平\Horizontal | 20kg | ||||
| 側向\Side | 10kg | |||||
| 解析度\Resolution | 1nm | |||||
| 最小步進\Minimal Incremental Step | 75nm | |||||
| 最大速度\Maximum Speed | 2m/s | |||||
| 最大加速度\Maximum Acceleration | 2g | |||||
| 持續推力\Continuous Force | 31N | |||||
| 峰值推力\Peak Force | 217N | |||||
| 平台材質\Material | 鋁 | |||||
| 平均無故障時間\MTBF | 27,000Hours | |||||
| 平台型號\Model | ACT85LM-400 | ACT85LM-500 | ACT85LM-600 | ACT85LM-700 | ACT85LM-800 | |
| 有效行程\Travel | 400mm | 500mm | 600mm | 700mm | 800mm | |
| 定位精度\Accuracy | ±2μm | ±3μm | ±3μm | ±3μm | ±3μm | |
| 重複定位精度\Bi-Repeatability | ±1μm | ±1μm | ±1μm | ±1μm | ±1μm | |
| 平台重量\Stage Mass | 7.6kg | 8.5kg | 9.4kg | 10.3kg | 11.2kg | |
| 最大負載\Load Capacity | 水平\Horizontal | 20kg | ||||
| 側向\Side | 10kg | |||||
| 解析度\Resolution | 1nm | |||||
| 最小步進\Minimal Incremental Step | 75nm | |||||
| 最大速度\Maximum Speed | 2m/s | |||||
| 最大加速度\Maximum Acceleration | 2g | |||||
| 持續推力\Continuous Force | 31N | |||||
| 峰值推力\Peak Force | 217N | |||||
| 平台材質\Material | 鋁 | |||||
| 平均無故障時間\MTBF | 27,000Hours | |||||
備註:
(1)空載,需配置對應功率的放大器;
(2)適配-AS回饋,以及16位回饋細分;
(3)預設測試點位置為檯面上方25 mm,單軸指標,多軸系統的性能指標與實際載重及工作點位置有關;
(4)雙致動器可安裝ART系列Y軸。
|
BASIC MODEL |
NOMINAL TRAVEL |
A |
B |
|
ACT85LM-050 |
50 |
280 |
100 |
|
ACT85LM-100 |
100 |
330 |
100,220, |
|
ACT85LM-150 |
150 |
380 |
100,220 |
|
ACT85LM-200 |
200 |
430 |
100,340 |
|
ACT85LM-300 |
300 |
530 |
100,400 |
|
ACT85LM-400 |
400 |
630 |
100,400,600 |
|
ACT85LM-500 |
500 |
730 |
100,400,700 |
|
ACT85LM-600 |
600 |
830 |
100,400,700 |
|
ACT85LM-700 |
700 |
930 |
100,400,700 |
|
ACT85LM-800 |
800 |
1030 |
100,400,700,900 |

(1)單位:mm;
(2)雙側拖鏈配置未顯示;
(3)完整3D圖面可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
行程(mm) |
載物台 |
回饋 |
電纜管理 |
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ACT85LM
|
-50 |
-TTM
|
-AS
|
-CMS0
|
|
-100 |
||||
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-150 |
||||
|
-200 |
||||
|
-300 |
||||
|
-400 |
||||
|
-500 |
||||
|
-600 |
||||
|
-700 |
||||
|
-800 |
行程選項
|
-50 |
50mm行程 |
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-100 |
100mm行程 |
|
-150 |
150mm行程 |
|
-200 |
200mm行程 |
|
-300 |
300mm行程 |
|
-400 |
400mm行程 |
|
-500 |
500mm行程 |
|
-600 |
600mm行程 |
|
-700 |
700mm行程 |
|
-800 |
800mm行程 |
載物台選項
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-TTM |
載物台公制安裝孔 |
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-TTR |
載物台安裝孔位,為指定旋轉台設計 |
|
-TTKxx |
為客戶客製載物台 |
回饋選項
| -AS | VPP 1伏特正弦類比量輸入 |
| -TTL100 | 0.1μm解析度數位量TTL訊號輸入 |
電纜管理選項
| -CMS0 | 無電纜管理,僅留出馬達回饋接口 |
| -CMS1 | 單側托線板、單拖鏈 |
| -CMS2 | 雙側托線板、雙拖鏈 |